Різниця між PVD та ССЗ

ПВД проти ССЗ

PVD (фізичне осадження пари) та CVD (хімічне відкладення пари) - це дві методики, які використовуються для створення дуже тонкого шару матеріалу в підкладці; зазвичай називають тонкими плівками. Вони в основному використовуються при виробництві напівпровідників, де дуже тонкі шари матеріалів n-типу та p-типу створюють необхідні стики. Основна відмінність PVD від CVD - це процеси, які вони використовують. Як ви, можливо, вже випливали з назв, PVD використовує лише фізичні сили для депонування шару, тоді як CVD використовує хімічні процеси.

У PVD чистий вихідний матеріал газифікується шляхом випаровування, застосування електроенергії високої потужності, лазерної абляції та кількох інших методик. Потім газифікований матеріал конденсується на матеріалі підкладки для створення потрібного шару. Немає хімічних реакцій, які відбуваються у всьому процесі.

У CVD вихідний матеріал насправді не є чистим, оскільки він змішується з летючим попередником, який виступає носієм. Суміш вводиться в камеру, яка містить субстрат, і потім осідає в неї. Коли суміш вже прилипла до субстрату, попередник з часом розкладається і залишає потрібний шар вихідного матеріалу в субстраті. Потім побічний продукт видаляється з камери за допомогою потоку газу. Процес розкладання може бути сприяний або прискорений за допомогою використання тепла, плазми чи інших процесів.

Будь то через CVD або через PVD, кінцевий результат в основному однаковий, оскільки вони обидва створюють дуже тонкий шар матеріалу залежно від бажаної товщини. ССЗ та ПВД - це дуже широкі методи з низкою більш конкретних методик. Реальні процеси можуть бути різними, але мета однакова. Деякі методи можуть бути кращими в певних програмах, ніж інші через вартість, легкість та цілий ряд інших причин; таким чином, вони віддають перевагу в цій області.

Підсумок:

PVD використовує лише фізичні процеси, тоді як CVD в основному використовує хімічні процеси
PVD зазвичай використовує чистий вихідний матеріал, тоді як CVD використовує змішаний вихідний матеріал

Промислові